Chaîne porte-câbles C6 pour salles blanches avec système de guidage e-spin

Transport automatisé de wafers en salles blanches

Dans les usines modernes de semi-conducteurs, les plaquettes de silicium passent par de nombreuses étapes de processus, de la lithographie à la gravure, jusqu’à la dopage et la métallisation. Ces différentes opérations sont exécutées dans des installations souvent très éloignées les unes des autres. En raison des exigences strictes de propreté et d’absence de particules, un transport manuel dans la salle blanche n’est pas faisable. Les systèmes automatisés de manutention des matériaux (AMHS – Automated Material Handling Systems) assurent le transport sûr et efficace des Wafers (FOUP – Front Opening Unified Pods) sur de longues distances. Une solution éprouvée est le système de transport (OHT) : il s'agit d'un système de transport sur rails qui déplace les FOUPs en hauteur, optimisant ainsi l'utilisation de l'espace dans la salle blanche.

Outre le transport, le stockage dans ce qu'on appelle des "stockers" est extrêmement important. Ces systèmes imposent des exigences élevées à l'alimentation en énergie et en données. Vous avez besoin de guidages d'énergie fiables pour : l’alimentation des unités OHT, la transmission de données (par exemple, capteurs) dans des environnements souvent exigus en salle blanche est assurée. Le guidage sûr des câbles pour données, bus et encore plus en sera facilité.